
首頁(yè) 》 新聞中心
半導(dǎo)體前端制造的晶圓光學(xué)檢測(cè)解決方案
時(shí)間:2020-6-3 17:58:14
▌▌系統(tǒng)要求該客戶(hù)是半導(dǎo)體行業(yè)中領(lǐng)先的晶圓制造公司,需要一個(gè)可以在CMP工藝過(guò)程中定位損壞和缺陷的檢查系統(tǒng)。由于晶片的特性材料,對(duì)表面純度和平面度進(jìn)行無(wú)損,非接觸式,波長(zhǎng)敏感的視覺(jué)檢查至關(guān)重要。視覺(jué)檢查系統(tǒng)需要與自動(dòng)化機(jī)器人處理系統(tǒng)同步,以提高生產(chǎn)率。在線(xiàn)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備的目標(biāo)是在保持生產(chǎn)率水平的同時(shí)提供高精度分析。客戶(hù)一直在尋找能夠快速執(zhí)行且具有高度精確的在線(xiàn)檢查功能的完整系統(tǒng)。客戶(hù)還希望減少安裝/維護(hù)工作量,因?yàn)榇嬖谠S多不同種類(lèi)的晶圓和缺陷類(lèi)型。
▌▌系統(tǒng)描述研華的機(jī)器視覺(jué)邊緣解決方案已安裝為CMP系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括CMP機(jī)械,機(jī)器人處理系統(tǒng),視覺(jué)檢查系統(tǒng)和IT數(shù)據(jù)庫(kù)的上行數(shù)據(jù)。拋光晶片后,位置傳感器向視覺(jué)系統(tǒng)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)。從不同的攝像機(jī)角度獲取了多幅圖像,并將其發(fā)送到視覺(jué)系統(tǒng),在視覺(jué)系統(tǒng)中,VisionNavi軟件處理圖像以進(jìn)行缺陷檢查,然后驗(yàn)證晶片。如果檢測(cè)到缺陷,視覺(jué)系統(tǒng)會(huì)發(fā)出“ NG”信號(hào)來(lái)拒絕晶圓,或者發(fā)出“ OK”信號(hào)來(lái)拾取晶圓以進(jìn)行下一步處理。圖像數(shù)據(jù)已還原并與客戶(hù)當(dāng)前的企業(yè)數(shù)據(jù)庫(kù)集成。
▌▌系統(tǒng)架構(gòu)▌▌解決方案組件
▌▌為什么選擇研華?研華的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)集成了全球快門(mén),高速工業(yè)相機(jī),多通道計(jì)算平臺(tái)和視覺(jué)軟件,因此用戶(hù)無(wú)需擔(dān)心如何選擇兼容的產(chǎn)品。VisionNavi軟件采用圖形化和圖形化設(shè)計(jì)?;诹鞒虉D的界面,用戶(hù)無(wú)需任何編程技能即可輕松完成視覺(jué)檢查應(yīng)用程序的開(kāi)發(fā)和部署。 研華助力智能制藥制造設(shè)備和機(jī)械 掃描二維碼 關(guān)注我們吧 聯(lián)系方式:0755-86652893,86652892 18165732527 18165735327 18165737293,歡迎致電聯(lián)系我們。 歡迎訪(fǎng)問(wèn)我們的官方網(wǎng)站:www.globalmonetizationinvestingandtrading.com |
