▌▌系統(tǒng)要求

該客戶(hù)是半導(dǎo)體行業(yè)中領(lǐng)先的晶圓制造公司，需要一個(gè)可以在CMP工藝過(guò)程中定位損壞和缺陷的檢查系統(tǒng)。由于晶片的特性材料，對(duì)表面純度和平面度進(jìn)行無(wú)損，非接觸式，波長(zhǎng)敏感的視覺(jué)檢查至關(guān)重要。視覺(jué)檢查系統(tǒng)需要與自動(dòng)化機(jī)器人處理系統(tǒng)同步，以提高生產(chǎn)率。在線(xiàn)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備的目標(biāo)是在保持生產(chǎn)率水平的同時(shí)提供高精度分析。客戶(hù)一直在尋找能夠快速執(zhí)行且具有高度精確的在線(xiàn)檢查功能的完整系統(tǒng)。客戶(hù)還希望減少安裝/維護(hù)工作量，因?yàn)榇嬖谠S多不同種類(lèi)的晶圓和缺陷類(lèi)型。

▌▌系統(tǒng)描述

研華的機(jī)器視覺(jué)邊緣解決方案已安裝為CMP系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括CMP機(jī)械，機(jī)器人處理系統(tǒng)，視覺(jué)檢查系統(tǒng)和IT數(shù)據(jù)庫(kù)的上行數(shù)據(jù)。拋光晶片后，位置傳感器向視覺(jué)系統(tǒng)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)。從不同的攝像機(jī)角度獲取了多幅圖像，并將其發(fā)送到視覺(jué)系統(tǒng)，在視覺(jué)系統(tǒng)中，VisionNavi軟件處理圖像以進(jìn)行缺陷檢查，然后驗(yàn)證晶片。如果檢測(cè)到缺陷，視覺(jué)系統(tǒng)會(huì)發(fā)出“ NG”信號(hào)來(lái)拒絕晶圓，或者發(fā)出“ OK”信號(hào)來(lái)拾取晶圓以進(jìn)行下一步處理。圖像數(shù)據(jù)已還原并與客戶(hù)當(dāng)前的企業(yè)數(shù)據(jù)庫(kù)集成。

▌▌系統(tǒng)架構(gòu)

▌▌解決方案組件

• IPC-220： 帶有第六/第七代智能英特爾®酷睿™i CPU插槽的緊湊型工業(yè)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

• PCIE-1674E-AE：  4端口PCI Express GlgEVision幀捕獲器

• PCIE-1730H：  32通道TTL，32通道隔離的DigitalI / O PCIe卡

• QCAM-GM1440-073CE：  工業(yè)相機(jī)

▌▌為什么選擇研華？

研華的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)集成了全球快門(mén)，高速工業(yè)相機(jī)，多通道計(jì)算平臺(tái)和視覺(jué)軟件，因此用戶(hù)無(wú)需擔(dān)心如何選擇兼容的產(chǎn)品。VisionNavi軟件采用圖形化和圖形化設(shè)計(jì)?；诹鞒虉D的界面，用戶(hù)無(wú)需任何編程技能即可輕松完成視覺(jué)檢查應(yīng)用程序的開(kāi)發(fā)和部署。

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