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半導(dǎo)體前端制造的晶圓光學(xué)檢測(cè)解決方案
時(shí)間:2020-6-3 17:58:14

背景

在半導(dǎo)體前端制造過(guò)程中,化學(xué)和機(jī)械力結(jié)合作用使表面平滑的CMP(化學(xué)機(jī)械平面化)工藝有時(shí)會(huì)導(dǎo)致諸如裂紋和劃痕缺陷之類(lèi)的表面損壞。為了有效地解決這一風(fēng)險(xiǎn),需要對(duì)表面純度和平面度進(jìn)行非破壞性,非接觸式,波長(zhǎng)敏感的視覺(jué)檢查。研華提供的機(jī)器視覺(jué)整體解決方案涵蓋工業(yè)級(jí)圖像傳感器,高級(jí)計(jì)算,多核處理器和VisionNavi應(yīng)用軟件,這是一種基于用戶(hù)友好的基于流程圖的界面,可以簡(jiǎn)化開(kāi)發(fā)和部署,分支和循環(huán)功能,先進(jìn)的視覺(jué)應(yīng)用程序,并通過(guò)全局快門(mén)支持多種任務(wù)和攝像機(jī),以提供精確而高效的半導(dǎo)體生產(chǎn)。

 

▌▌系統(tǒng)要求

該客戶(hù)是半導(dǎo)體行業(yè)中領(lǐng)先的晶圓制造公司,需要一個(gè)可以在CMP工藝過(guò)程中定位損壞和缺陷的檢查系統(tǒng)。由于晶片的特性材料,對(duì)表面純度和平面度進(jìn)行無(wú)損,非接觸式,波長(zhǎng)敏感的視覺(jué)檢查至關(guān)重要。視覺(jué)檢查系統(tǒng)需要與自動(dòng)化機(jī)器人處理系統(tǒng)同步,以提高生產(chǎn)率。在線(xiàn)視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備的目標(biāo)是在保持生產(chǎn)率水平的同時(shí)提供高精度分析。客戶(hù)一直在尋找能夠快速執(zhí)行且具有高度精確的在線(xiàn)檢查功能的完整系統(tǒng)。客戶(hù)還希望減少安裝/維護(hù)工作量,因?yàn)榇嬖谠S多不同種類(lèi)的晶圓和缺陷類(lèi)型。


▌▌系統(tǒng)描述

研華的機(jī)器視覺(jué)邊緣解決方案已安裝為CMP系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括CMP機(jī)械,機(jī)器人處理系統(tǒng),視覺(jué)檢查系統(tǒng)和IT數(shù)據(jù)庫(kù)的上行數(shù)據(jù)。拋光晶片后,位置傳感器向視覺(jué)系統(tǒng)發(fā)送觸發(fā)信號(hào)。從不同的攝像機(jī)角度獲取了多幅圖像,并將其發(fā)送到視覺(jué)系統(tǒng),在視覺(jué)系統(tǒng)中,VisionNavi軟件處理圖像以進(jìn)行缺陷檢查,然后驗(yàn)證晶片。如果檢測(cè)到缺陷,視覺(jué)系統(tǒng)會(huì)發(fā)出“ NG”信號(hào)來(lái)拒絕晶圓,或者發(fā)出“ OK”信號(hào)來(lái)拾取晶圓以進(jìn)行下一步處理。圖像數(shù)據(jù)已還原并與客戶(hù)當(dāng)前的企業(yè)數(shù)據(jù)庫(kù)集成。


▌▌系統(tǒng)架構(gòu)

▌▌解決方案組件

 

  • IPC-220: 帶有第六/第七代智能英特爾®酷睿™i CPU插槽的緊湊型工業(yè)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

  • PCIE-1674E-AE:  4端口PCI Express GlgEVision幀捕獲器

  • PCIE-1730H:  32通道TTL,32通道隔離的DigitalI / O PCIe卡

  • QCAM-GM1440-073CE:  工業(yè)相機(jī)

▌▌為什么選擇研華?

研華的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)集成了全球快門(mén),高速工業(yè)相機(jī),多通道計(jì)算平臺(tái)和視覺(jué)軟件,因此用戶(hù)無(wú)需擔(dān)心如何選擇兼容的產(chǎn)品。VisionNavi軟件采用圖形化和圖形化設(shè)計(jì)?;诹鞒虉D的界面,用戶(hù)無(wú)需任何編程技能即可輕松完成視覺(jué)檢查應(yīng)用程序的開(kāi)發(fā)和部署。

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